Проводники и контакты
Высокая плотность тока, протекающего по проводникам чипа, приводит к переносу вещества в направлении электронного потока вследствии интенсивного взаимодействия электронов с кристаллической решеткой. Этот процесс электрической миграции представляет собой самодиффузию и зависит от температуры и плотности тока. На этот процесс существенно влияют такие свойства вещества, как вид и размер гранул в полупроводнике, а также их ориентация. Неоднородный перенос вещества приводит к появлению дырок в проводнике и в конце концов к обрыву. Причиной неодновременного переноса вещества является градиент температуры вдоль проводника вследстие нарушения при его изготовлении заданного поперечного сечения, изменения его теплообмена, зависящего от свойств подложки - оксида кремния, локальных колебаний удельного сопртивления.
Обычно проводники изготавливают из алюминия, который удовлетворяет многочисленных и противоречивым требованиям. К ним относятся хорошая электрическая и термическая проводимость, такие механические свойства, как пластичность и устойчивость к растрескиванию, способность к адгезии, хороший омический контакт с диффузной областью, совместимость с процессом изготовления полупроводников.
Устойчивость к миграции материала проводника существенно зависит от его тонкой структуры; на это свойство кроме условий изготовления, весьма большое влияние оказывают примеси других металлов. В том случае, когда в алюминии имеются примеси кремния, меди или титана, его устойчивость к миграции повышается. Кроме того, повышение устойчивости к миграции добиваются путем уменьшения размеров при одновременном повышении степени интеграции схемы.
©  2011 Диоды и стабилитроны